一、產品概述
1. Leic aDM12000M全新的光學設計,可以提供宏觀模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式) 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產能。
2. LED 照明技術 一體化設計并整合在顯微鏡上. 低熱輻射和機身內一體化技術確保了理想的機身外空氣流動狀態。低能耗的節電設計大大延長了使用壽命,符合綠色環保的理念。
3. 一鍵式的操控設計使用戶可以輕易地完成倍率轉換和相關的照明和相襯效果。
二、產品參數
1.光學系統：HC光學部件（無窮校正的光學系統）
2.觀察鏡筒：抬高模塊三目鏡筒，帶圖像豎起功能；切換位置（目鏡/攝像頭）：100/0%和0/100%、100/0%和50/50%
3.宏觀成像：可達40mm的樣品面積
4.照明系統：帶LED的反射光照明系統；觀察方法：明場、暗場、DIC、定性POL、斜射、UV、OUV集成的自動孔徑光闌、帶LED的透射光照明系統；觀察方法：明場、定性POL 4位反射鏡轉盤（手動/電動操作）
5.支持系統：內置照明管理系統、內置對比度管理器
6.旋轉物鏡轉盤：電動、明場/暗場（M32）、6-位，帶用于DIC的滑板槽通過正面的控制面板或外部遙控裝置改變放大倍率。
7.載物臺：手動檢驗載物臺12x12’’；302x302mm移動范圍，快速調節手柄；用于反射光和透射光觀察、掃描載物臺12x12’’；302x302mm移動范圍，電動，4mm錠子螺距；用于反射光和透射光觀察。
8.調焦機制：高硬度手動2齒輪調焦，35mm沖程，高度可調的調焦旋鈕；高精度手動3齒輪調焦，35mm沖程，高度可調的調焦旋鈕；電動2齒輪調焦，35mm沖程，高度可再現能力，齊焦調節。
